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设备介绍

紫外直写光刻机

仪器预约

仪器介绍:量子科学仪器 MicroWriter ML3 是一款多功能激光直写光刻系统,采用385nmLED光源,wafer最大195*195 mm,最高精度400nm。具有高直写速度,高分辨率的特点。集成化设计,全自动控制,可靠性高,操作简便。为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案。

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