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电子束蒸发+热蒸发金属镀膜

仪器预约

仪器介绍：主要用来蒸镀各种金属层，能精确控制蒸镀速率和厚度。

具有电子束蒸发和电阻热蒸发两种加热方式。电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。

电子束蒸发六个坩埚，热蒸发两个坩埚，最大可放置6英寸圆形样品。