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设备介绍

半导体参数分析仪

半导体参数分析仪.png


性能指标:

  • SMU (源测量单元) 电压范围: ±200 V;分辨率 1 μV;电流范围:±100 mA;分辨率 100 fA;

  • CVU(电容测量单元)频率范围:1 kHz-10 MHz;

  • PMU(脉冲测量单元)电压范围: ±40V;电流范围: ±800 mA; 采样率:200 MSa/sec;

  • RPM(功能切换模块)在IV、CV和脉冲测试之间自动切换,无需重新布线或抬起探针


典型应用:

  • 二极管和PN结测试;

  • MOSFET, BJT晶体管特性测试;

  • 电阻率测试;

  • 材料特性分析;

  • MEMS器件测试;

  • 失效分析等I-V、C-V相关电学测试及表征


样品要求:

  • 未封装样品需要在DIP(双列直插式)chip carrier上绑线

  • 封装样品/系统端口为BNC(双轴或三轴)


地址:上海市东川路800号理科实验楼群
邮编:200240

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