半导体参数分析仪
性能指标:
SMU (源测量单元) 电压范围: ±200 V;分辨率 1 μV;电流范围:±100 mA;分辨率 100 fA;
CVU(电容测量单元)频率范围:1 kHz-10 MHz;
PMU(脉冲测量单元)电压范围: ±40V;电流范围: ±800 mA; 采样率:200 MSa/sec;
RPM(功能切换模块)在IV、CV和脉冲测试之间自动切换,无需重新布线或抬起探针
典型应用:
二极管和PN结测试;
MOSFET, BJT晶体管特性测试;
电阻率测试;
材料特性分析;
MEMS器件测试;
失效分析等I-V、C-V相关电学测试及表征
样品要求:
未封装样品需要在DIP(双列直插式)chip carrier上绑线
封装样品/系统端口为BNC(双轴或三轴)
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